ASTM F 416-1994 抛光硅圆片中检测氧化引起缺陷的测试方法

作者:标准资料网 时间:2024-05-10 04:21:04  浏览:9331   来源:标准资料网

【英文标准名称】:TestMethodforDetectionofOxidationInducedDefectsinPolishedSiliconWafers
【原文标准名称】:抛光硅圆片中检测氧化引起缺陷的测试方法
【标准号】:ASTMF416-1994
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1994
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:试验;垫圈;缺陷与故障;氧化;硅;电子工程;玻璃的
【英文主题词】:silicon;defects;oxidation;testing;washers;electronicengineering;glassed
【摘要】:
【中国标准分类号】:H81
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:
【正文语种】:英语